空化作用還與超聲波頻率有關，空化的產生存在著一個最小的臨界幅度，即空化是隨著頻率的升高而降低的。目前超聲波清洗機的工作頻率根據清洗對象，大致分為三個頻段：低頻超聲波清洗（20~50KHZ）高頻超聲清洗（50~200KHZ）和兆赫超聲清洗（700~1000KHZ）。低頻超聲清洗適用于大部件表面或者污物和清洗件表面結合強度高的場合；高頻超聲清洗適用于計算機、微電子元件的精細去清洗。如磁盤、驅動器、讀寫頭、液晶玻璃及平面顯示器微組件和拋光金屬件等的清洗；兆赫超聲清洗使用與集成電路芯片、硅片及薄膜等的清洗。

3，清洗溶液的選擇

清洗劑的選擇要從兩個方面考慮，一方面要從污物的性質來選擇化學作用效果好的清洗劑；另一方面要選擇表面張力、蒸汽壓及黏度合適的清洗劑。因為這些特性與超聲空化強弱有關。液體的表面張力大則不容易產生空化，但是當聲強超過空化閥值時，空化泡崩潰釋放的能量也大，有利于清洗。高蒸氣壓的液體會降低空化強度，而液體的粘滯度大也不容易產生空化，因此蒸氣壓高和黏度大的清洗劑都不利于超聲清洗。

4，清洗的溫度

清洗溫度升高時，對空化的產生有利，但是溫度過高氣泡中的蒸汽壓增大，空化強度會降低，所以溫度的選擇要考慮對空化強度的影響也要考慮清洗的化學清洗作用。每一種液體都有一空化活躍的溫度，水較適宜的溫度是60攝氏度左右，此時空化最活躍。

5，駐波的影響

清洗槽是有限空間，超聲波由聲源向液面傳播時，在液體和氣體的交界面會反射回來而形成駐波。駐波的特征是在液體空間的某些地方聲壓最小，而在另外一些地方聲壓最大，這樣會造成清洗不均勻的現象。要減少駐波的影響有時清洗槽特意做成不規則的形狀以避免駐波的形成。有時在超聲電源方面采取掃頻的方式，使聲壓最小處不固定在一個地方，而是不斷地移動以達到較均勻的清洗。